Noile instrumente Pura Plus au fost concepute special pentru a răspunde ultimelor schimbări ale cerințelor industriei wafer în ceea ce privește dimensiunile și indicatorii echipamentelor. Pura Plus este un transmițător online de fluctuație a umidității, montat multiplu în interiorul unei fabrici de semiconductori, care duce la cele mai înalte puncte de alimentare cu gaz în linia de producție, pentru monitorizarea aplicațiilor gazelor inerte ultrapure. Distribuția sistemelor de gaze în interiorul fabricii este complexă și implică o mulțime de ramuri, noduri și puncte de utilizare. Prin urmare, după punctele de monitorizare a umidității obișnuite, penetrarea umidității poate afecta utilizarea în aval din cauza unor scurgeri mici, a unui design ineficient al sistemului, a unei defecțiuni a componentelor sau a unei erori în proces. Pura Plus, instalat în sistemul de distribuție, oferă indicații de răspuns rapide la niveluri de umiditate de 20 ppb. Timpul de răspuns pentru o variație de 1 ppb este mai mic de 1 minut. Pune în evidență Răspuns rapid la schimbările de umiditate la nivelul ppb Sensibilitate la niveluri scăzute de umiditate (<1 ppb) Noul concept pentru instalații de măsurare în mai multe puncte Cerințe scăzute de întreținere Indicator de stare pentru lumini Puncte de avertizare și alarmă Compatibilitate cu rețeaua Modbus Software multicanal pentru interfața de control de la distanță Detectarea conductelor pentru gaze ultrapure (UHP)
Indicatorii tehnici
Viteza de răspuns < 1 min 20 ppb Timp de răspuns pentru schimbări de umiditate de 1 ppb Măsurarea umidității 1 ppb până la 20.000 ppm Intervalul de presiune 0 până la 10 bar Nivelul de presiune 300 de bari Testarea scurgerilor 0-9 mbar l/s Domeniul fluxului de lucru 1 ~ 10 l / min Temperatura de lucru 5 ~ 40 ° C Temperatura de stocare 30 ~ 70 ° C Alimentare electrică 20 ~ 28 V DC Consumul de energie 5 W maxim Gradul siguranței externe 500 mA tip de topire rapidă Ieșire date Modbus ASCII cu două fir RS485 Ieșiri de avertizare și alarmă Drumul 2 Tensiunea maximă 40 V DC Curentul maxim 100 mA Materiale în contact cu gazele Materialul carcasei Oțel inoxidabil AISI 316L, lustruire electrică a suprafeței interioare <10 Ra Structura senzorului Electroliți de oxid de aluminiu, stratul superior de aur pentru protecție, stratul inferior de aluminiu Volumul intern 4,4 cm³ Greutate 450g Interfețe de căi aeriene VCR de 1/4 'm Interfețe electrice Interfața D-M cu 9 pin Compatibilitate electromagnetică Standardele EN50081-2 și EN50082-2